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1. 关键工艺设备的电能质量保障
场景：光刻机、蚀刻机、离子注入机等精密设备对电压暂降、谐波干扰、频率波动极为敏感电能监测装置 。
APView作用：实时监测供电电压的稳定性，捕捉毫秒级电能事件（如电压骤降、短时中断），及时触发保护措施），避免设备停机或晶圆报废电能监测装置 。
2. 谐波污染分析与治理
场景：变频器、直流电源等非线性负载产生谐波，导致变压器过热、设备误动作电能监测装置 。
APView作用：监测2-63次谐波含量，定位谐波源，评估谐波畸变率（THD），指导安装有源滤波器（APF）或调整负载分布电能监测装置 。
3. 洁净室环境电力系统监控
场景：洁净室的空调系统（FFU、温湿度控制）若因电能质量问题停机，可能导致温湿度失控，影响良率电能监测装置 。
APView作用：监测配电回路的三相不平衡、功率因数，优化空调系统供电，确保连续稳定运行电能监测装置 。
4. 应急电源系统（UPS/发电机）效能验证
场景：UPS切换时的瞬态响应、柴油发电机组的电压/频率稳定性需定期验证电能监测装置 。
APView作用：记录切换过程中的电压波形，分析发电机输出的电能质量是否符合半导体设备要求电能监测装置 。
5. 数据中心的电力可靠性管理
场景：支持半导体生产的数据中心对供电连续性要求极高，需防范闪变、谐波等干扰电能监测装置 。
APView作用：监测关键IT负载的输入电能质量，确保服务器、存储设备不受电压波动影响电能监测装置 。
6. 能效优化与成本控制
场景：半导体厂能耗巨大，需优化变压器和线路的负载率以减少损耗电能监测装置 。
APView作用：分析各工艺段功率因数、需量峰值，指导无功补偿和负荷调度，降低能源成本电能监测装置 。
图2 谐波监测柱状图
图3 电压暂降事件记录
图4 暂降定位事件记录
图5 暂降波形
图6 ITIC容忍度曲线
图7 SEMI容忍度曲线
现场安装图